相對測量的平(ping)行(xing)度。
平行(xing)平晶,以光波干涉(she)原(yuan)理為基礎,利(li)用(yong)平行(xing)平晶的(de)測量(liang)面與試件的(de)被測量(liang)面之間所出(chu)現(xian)的(de)干涉(she)條紋來(lai)測量(liang)被測量(liang)面的(de)誤(wu)差程度(du)。具有高精度(du)的(de)平面性和(he)平行(xing)性。
規 格 |
精 度 |
塊數 |
0-25 |
0.6μm |
4 |
25-50 |
0.6μm |
4 |
50-75 |
0.6μm |
4 |
75-100 |
1.0μm |
4 |