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平行平晶
產品簡介:平行平晶,以光波干涉原理為基礎,利用平行平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。具有高精度的平面性和平行性。
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相對測量的平(ping)行(xing)度。

平行(xing)平晶,以光波干涉(she)原(yuan)理為基礎,利(li)用(yong)平行(xing)平晶的(de)測量(liang)面與試件的(de)被測量(liang)面之間所出(chu)現(xian)的(de)干涉(she)條紋來(lai)測量(liang)被測量(liang)面的(de)誤(wu)差程度(du)。具有高精度(du)的(de)平面性和(he)平行(xing)性。



規 格

精 度

塊數

0-25

0.6μm

4

25-50

0.6μm

4

50-75

0.6μm

4

75-100

1.0μm

4

















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