> > 特點：
1、擁有現代的加工工藝，研制技術本身具有足夠的精度等保證其質量3、具有(you)格柵(zha)狀雙向結(jie)構，與早期(qi)使用的(de)初級銅(tong)網結(jie)構相似，是可以同時對任意兩(liang)個垂直方向上的(de)掃描電鏡、電子(zi)探針的(de)圖像的(de)放大倍(bei)率進(jin)行檢查或校(xiao)正的(de)標(biao)樣
4、有德國PTB國際計量型原子力顯微鏡的測量研究報告和研制者的研制報告正式發布(見“掃描電鏡測長問題的討論”一書)，即采用目前精度高、可溯源的檢測方法，有可靠的文獻依據(5)利用(yong)標樣(yang)上(shang)的“點(dian)子(zi)”圖像(xiang)，可對(dui)電子(zi)束作漂移檢驗和樣(yang)品臺復位檢驗
用途：
(1)可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進行檢查或校正，是校準從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標準樣品
(2)可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進行校驗，是評價掃描電鏡圖像質量的個重要工具
(3)可直接用于同一量級物體長度的精確比對測量
(4)對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉調整功能的檢驗也有較好的作用
(5)利用標樣(yang)上的“點子”圖像，可對電(dian)子束作漂移檢驗和樣(yang)品臺復位檢驗
標準樣品的形狀、規格和包裝：
S1000微米-亞微米級系列標樣，總體為5mm×5mm×0.5mm(長×寬×厚)大小的小方塊。主體圖形為一個“回”字形的方框，最外框邊長約為2mm,內框的邊長約為1.2mm,內框里面用X、Y軸分為4個象限，X、Y軸上制作有垂直坐標軸方向的線距20μm的短平行線條，4個象限上分別是線距為40μm、20μm、10μm的方格網狀圖形和線距為5μm的X、Y雙向平行線條圖形，內框的中部又是“回”字形的方框，大框的邊長約為160m,小框邊長約50μm，大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5μm的平行線條，小框里面是線距為1μm或0.5μm的X、Y雙向平行線條圖形(見圖1)，在5μm和1μm或0.5μm的線距結構上還有一些十字形和圓點，可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調整，不同的線距大小可用于從10×~10000放大倍率范圍的校準，而把40μm、20μm和10μm的線距結構設計成方格形，是為了在對放大倍率進行準確校準的同時，可以對圖像的畸變、像散等進行校驗，5μm的線距結構也同時具有X、Y兩個方向的平行線條，是為了方便同時對X、Y兩個方向進行放大倍的準而不必機械旋轉標準器。
標準樣品的穩定性：
標準樣品(pin)基質(zhi)材料為單(dan)晶硅或(huo)石英玻(bo)璃基片，材料性質(zhi)穩(wen)定(ding)。在(zai)對標準樣品(pin)進(jin)行觀察時，可(ke)看(kan)到標準樣品(pin)具有(you)良好的導電(dian)(dian)性，并且在(zai)掃描電(dian)(dian)鏡下所產生的圖形具有(you)很好的對比度(du)，在(zai)掃描電(dian)(dian)鏡下或(huo)光學(xue)顯微鏡下進(jin)行多次長(chang)時間的觀察后，未見標準樣品(pin)圖形或(huo)線距結構(gou)發(fa)生變形或(huo)其(qi)他損壞，即標準樣品(pin)在(zai)電(dian)(dian)子束(shu)重復照射下是穩(wen)定(ding)的。
標準樣品的均勻性：
本系列標準樣品的片內線距均勻性由德國聯邦物理研究所(PTB)使用一臺大范圍計量型掃描力顯微鏡( M-LRSFM進行測量，40μm、20μm、10μm和5μm的(de)(de)(de)線(xian)(xian)距結(jie)構的(de)(de)(de)相對標準(zhun)(zhun)偏差分(fen)別為<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和<1%；片間線(xian)(xian)距的(de)(de)(de)均勻性送國家有色金屬及(ji)電(dian)子材料分(fen)析(xi)測(ce)試中心掃描電(dian)鏡(jing)實驗室(shi)進行檢查，隨機取10個標準(zhun)(zhun)樣品，在相同(tong)掃描電(dian)鏡(jing)工(gong)作(zuo)條件下獲(huo)取每(mei)個標準(zhun)(zhun)樣品上每(mei)種線(xian)(xian)距結(jie)構的(de)(de)(de)圖像(xiang)，在每(mei)個圖像(xiang)上的(de)(de)(de)不同(tong)位置取若(ruo)干個線(xian)(xian)距周期測(ce)量(liang)4個長度數據，其測(ce)量(liang)結(jie)果(guo)標準(zhun)(zhun)偏差分(fen)別為：<0.39%、<0.19%、<0.21%和<0.19%
標準值和置信限：
本系(xi)列(lie)標準樣品的線距值(zhi)由德國聯邦物理研(yan)究所(PTB)使用一臺大范圍(wei)計量型掃(sao)描力顯微鏡(jing)(M- LRSFM)進行(xing)測量，測量結(jie)果(guo)可直接(jie)溯源(yuan)至(zhi)米定義計量基準。各線距結(jie)構的測量值(zhi)分別為：40000.6±4.2nm(X方(fang)(fang)(fang)向(xiang))、40001.8±4.2nm(Y方(fang)(fang)(fang)向(xiang))、20000.4±1.8nm(X方(fang)(fang)(fang)向(xiang))、20000.0±1.8nm(Y方(fang)(fang)(fang)向(xiang))、10000.2±0.5mm(X方(fang)(fang)(fang)向(xiang))、10000.0±0.5mm(Y方(fang)(fang)(fang)向(xiang))、5000.0±0.6mm(X方(fang)(fang)(fang)向(xiang))、5000.3±0.6mm(Y方(fang)(fang)(fang)向(xiang))、1000.4±0.7nm(X方(fang)(fang)(fang)向(xiang))、1000.4±0.7mm(Y方(fang)(fang)(fang)向(xiang))，置(zhi)信(xin)限為95%，k=2。
測試使用計量基準裝置主要儀器：計量型掃描電子顯微鏡標準裝置
測量范圍：線(xian)間隔結(jie)構（0~50）μm
不確定度/準確度等級：Ｕ=（1+2×10-3*p）nm，k=2（Ｐ-nm）
測試結果：
1、樣板外觀(guan)：良好
2、測量(liang)范圍(wei)：對樣塊中指(zhi)定量(liang)值的柵格間(jian)距區域，進行(xing)多次重(zhong)復測量(liang)
3、樣塊刪格間(jian)距(ju)校(xiao)準結果及測量不(bu)確(que)定度：
|
測量區域 |
A |
B |
C |
D |
E1 |
E2 |
|
標稱值/μm |
40 |
20 |
10 |
5 |
2 |
1 |
|
X方向校準值/nm |
39993 |
20052 |
10011 |
5033 |
1998 |
994 |
|
Y方向(xiang)校(xiao)準值/nm |
40074 |
20049 |
10000 |
5042 |
2003 |
1001 |
|
Ｕ95/nm |
50 |
31 |
11 |
8 |
4 |
2 |
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