概述簡介：

        普天同創(chuang)（深圳）科技有限公司(si) 為掃描電鏡客戶定制放大倍率標(biao)準樣(yang)品。標(biao)樣(yang)基質材(cai)料為單晶硅或石(shi)英玻璃基片，材(cai)料性質穩定。由德國(guo)聯邦物(wu)理研(yan)究(jiu)所（PTB）對線距均(jun)勻性(xing)進行(xing)測量(liang)認證。測量(liang)結果(guo)可直接溯源至米定義計(ji)量(liang)基準。

規格尺寸：

        5mm×5mm×0.5mm（長×寬×厚(hou)）

產品描述：

     ○. 主(zhu)體圖形為一“回”字形方框，分為(wei)4個象限，X、Y軸上為(wei)垂直坐標軸方向的(de)線距(ju)20μm的(de)短平(ping)行線條(tiao)，

     ○. 4個(ge)象限(xian)上(shang)分別(bie)是線(xian)距為(wei)40μm、20μm、10μm的(de)方(fang)格網狀圖形和(he)線(xian)距為(wei)5μm的(de)X、Y雙(shuang)向平行線(xian)條圖形。

     ○. 內框(kuang)中部又(you)是“回”字形方框(kuang)(kuang)(kuang)，大(da)框(kuang)(kuang)(kuang)和(he)(he)小框(kuang)(kuang)(kuang)之間在X方向(xiang)和(he)(he)Y方向(xiang)上(shang)都有線(xian)(xian)(xian)(xian)距(ju)(ju)為5μm的(de)平行線(xian)(xian)(xian)(xian)條，小框(kuang)(kuang)(kuang)里面是(shi)線(xian)(xian)(xian)(xian)距(ju)(ju)為1μm或0.5μm的(de)X、Y雙向(xiang)平行線(xian)(xian)(xian)(xian)條圖(tu)形（如圖(tu)）。在5μm和(he)(he)1μm或0.5μm的(de)線(xian)(xian)(xian)(xian)距(ju)(ju)結構上(shang)還有一些十字形和(he)(he)圓點，可用(yong)于在較大(da)放大(da)倍(bei)率下圖(tu)像的(de)聚集和(he)(he)像散調(diao)整。不同的(de)線(xian)(xian)(xian)(xian)距(ju)(ju)大(da)小可用(yong)于從10×～100,000×放大(da)倍(bei)率范圍(wei)的(de)校準，而把(ba)40μm、20μm和(he)(he)10μm的線距結構(gou)設計成方(fang)格形，是為了在(zai)對放大(da)倍(bei)率(lv)進行(xing)準確校(xiao)準的同時(shi)，可以對圖像的畸變、像散等進行(xing)校(xiao)驗， 5μm和1μm/0.5μm的(de)線距結構也同時(shi)具有(you)X、Y兩個方(fang)向的(de)平行(xing)線條，是為了(le)方(fang)便同時(shi)對X、Y兩個方(fang)向進行(xing)放大倍率的(de)校準(zhun)而(er)不(bu)必(bi)機(ji)械(xie)旋轉(zhuan)標(biao)準(zhun)器(qi)。

主(zhu)要用途(tu)：

     ○. 利用標樣上的“點子”圖像，可對電子束作漂移檢驗和樣品臺復位檢驗

使用方法：

     ○. 可以直接參照標樣說明書的那八張相近圖像進行測量

注意事(shi)項：