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技術前沿

掃描電鏡的優點及應用范圍

時間：2020-04-15 作者：普天(tian)同(tong)創 閱讀：15230
        掃描電鏡(jing)(jing)（SEM）是介于透射電鏡(jing)(jing)和(he)光學顯微(wei)鏡(jing)(jing)之(zhi)間的一種微(wei)觀形(xing)貌觀察手段，可直(zhi)接利用樣品表面材料(liao)的物質性能進(jin)行微(wei)觀成像。

        掃描電鏡的優點：
        ①. 有較高(gao)的放(fang)大(da)倍數，20-200000倍之間連(lian)續(xu)可調；
        ②. 有很大(da)的(de)景深，視野大(da)，成像富有立(li)體感，可直接觀察各(ge)種試(shi)樣凹凸不平(ping)表面的(de)細微結構；
        ③. 試樣(yang)制備簡單(dan)，目前的(de)掃描(miao)電鏡都配(pei)有X射線能(neng)譜儀裝置，這樣(yang)可以同時進行顯(xian)微組(zu)織形貌的(de)觀察和微區成分分析（即SEM-EDS），因此(ci)它是當(dang)今十分重要(yao)的(de)科學研(yan)究儀器之一。


        掃描電鏡的組成及原理：

        掃(sao)描電(dian)子顯微鏡由電(dian)子光學系(xi)統(tong)，信號(hao)收集及顯示系(xi)統(tong)，真空系(xi)統(tong)及電(dian)源系(xi)統(tong)組成。從原理上(shang)講(jiang)就是利(li)用聚焦(jiao)得非常細的(de)高能電(dian)子束在試樣上(shang)掃(sao)描，激(ji)發出各種物理信息。通過對(dui)這(zhe)些信息的(de)接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的(de)觀察。
        當一(yi)束極細(xi)的高能入射(she)電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)轟(hong)擊掃描樣品表面時，被激發(fa)的區域將產(chan)生二次電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)、俄(e)歇電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)、特(te)征x射(she)線和連續(xu)譜X射(she)線、背散射(she)電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)、透射(she)電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)，以及(ji)在可(ke)見、紫外、紅外光區域產(chan)生的電(dian)(dian)(dian)磁輻射(she)。同(tong)時可(ke)產(chan)生電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)-空穴對(dui)、晶格振(zhen)動（聲子(zi)(zi)(zi)(zi))、電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)振(zhen)蕩（等離子(zi)(zi)(zi)(zi)體）。

        掃描電鏡的應用范圍：
        1. 生物：種子、花粉(fen)、細菌……
        2. 醫學：血球(qiu)、病(bing)毒(du)……
        3. 動物：大腸(chang)、絨(rong)毛(mao)、細胞(bao)、纖維……
        4. 材(cai)料(liao)：陶瓷、高(gao)分子、粉末(mo)、金屬、金屬夾雜物(wu)、環氧樹(shu)脂……
        5. 化學(xue)、物(wu)理、地質(zhi)、冶金、礦物(wu)、污泥（桿菌） 、機(ji)(ji)械、電(dian)(dian)(dian)機(ji)(ji)及導(dao)電(dian)(dian)(dian)性(xing)樣品，如半(ban)導(dao)體(IC、線寬量測、斷面、結構觀察……）電(dian)(dian)(dian)子材料等(deng)。
        6. 新型陶瓷材料分析
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