一、產品介紹

用于掃描電(dian)鏡（包括電(dian)子探針等）儀(yi)器主要性能的(de)校驗(yan)和檢驗(yan)，如圖(tu)(tu)像(xiang)的(de)放大倍(bei)率檢驗(yan)與調整、掃描圖(tu)(tu)像(xiang)畸變的(de)調整、像(xiang)散調節以(yi)及樣品(pin)臺的(de)復位(wei)檢驗(yan)等。該標(biao)(biao)準樣品(pin)也(ye)是掃描電(dian)鏡微米(mi)(mi)納米(mi)(mi)長度(du)精確測量(liang)的(de)最佳標(biao)(biao)準樣品(pin)、是微米(mi)(mi)長度(du)測量(liang)的(de)最高可(ke)溯(su)源(yuan)級別的(de)量(liang)值傳遞工具。是多個(ge)國家標(biao)(biao)準文件GB/W 27788、16594、17722、20307、JJG550等實施所必需的(de)標(biao)(biao)準樣品(pin)。

二、標準樣(yang)品用途(tu)

1、可用于同時對任意兩個垂(chui)直(zhi)方向上的(de)(de)(de)掃(sao)描電鏡的(de)(de)(de)圖像的(de)(de)(de)放(fang)大倍(bei)率(lv)進行檢查或(huo)校(xiao)正，是校(xiao)準從10×~100,000×范圍(wei)的(de)(de)(de)圖像放(fang)大倍(bei)率(lv)的(de)(de)(de)最有效的(de)(de)(de)圖形標準樣品(pin)。

2、可(ke)用(yong)于對圖像的(de)X、Y方向上的(de)畸變(bian)和邊緣(yuan)的(de)畸變(bian)進行校(xiao)驗，是評價掃描電鏡圖像質量的(de)個重要工具。

3、可直接用(yong)于同(tong)一量級物(wu)體長度的(de)精(jing)確比對測量。

4、對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉調整(zheng)功能的檢驗也(ye)有較好(hao)的作用。

5、利用標樣(yang)上的“點子(zi)”圖像，可對電子(zi)束作漂移檢驗和(he)樣(yang)品臺復位(wei)檢驗。

標準(zhun)(zhun)樣品(pin)(pin)基質(zhi)材(cai)料(liao)為單(dan)晶硅或(huo)石英(ying)玻璃基片，材(cai)料(liao)性質(zhi)穩(wen)定。在對標準(zhun)(zhun)樣品(pin)(pin)進行(xing)觀察時，可看到標準(zhun)(zhun)樣品(pin)(pin)具(ju)有(you)良好的(de)(de)導電(dian)性，并且在掃描電(dian)鏡(jing)(jing)下所產生的(de)(de)圖(tu)形(xing)具(ju)有(you)很好的(de)(de)對比(bi)度(du)，在掃描電(dian)鏡(jing)(jing)下或(huo)光學顯微鏡(jing)(jing)下進行(xing)多次長時間(jian)的(de)(de)觀察后，未見(jian)標準(zhun)(zhun)樣品(pin)(pin)圖(tu)形(xing)或(huo)線距結(jie)構發生變形(xing)或(huo)其他(ta)損(sun)壞，即標準(zhun)(zhun)樣品(pin)(pin)在電(dian)子束重(zhong)復照射下是穩(wen)定的(de)(de)。

四、標準樣(yang)品均勻性

本系列標(biao)(biao)準(zhun)(zhun)樣品的(de)(de)片內線距均勻性由德(de)國(guo)聯邦物理研(yan)究所(PTB)使用(yong)一臺大范圍計(ji)量(liang)型掃描(miao)力顯微(wei)鏡( M-LRSFM進行(xing)(xing)測(ce)量(liang)，40μm、20μm、10μm和(he)5μm的(de)(de)線距結(jie)構(gou)的(de)(de)相(xiang)對(dui)標(biao)(biao)準(zhun)(zhun)偏差分別(bie)為<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和(he)<1%；片間(jian)線距的(de)(de)均勻性送國(guo)家(jia)有(you)色(se)金(jin)屬(shu)及電子材料分析測(ce)試中心掃描(miao)電鏡實驗(yan)室進行(xing)(xing)檢查(cha)，隨機取10個(ge)(ge)標(biao)(biao)準(zhun)(zhun)樣品，在(zai)相(xiang)同掃描(miao)電鏡工作條件下(xia)獲取每(mei)(mei)個(ge)(ge)標(biao)(biao)準(zhun)(zhun)樣品上每(mei)(mei)種線距結(jie)構(gou)的(de)(de)圖像，在(zai)每(mei)(mei)個(ge)(ge)圖像上的(de)(de)不(bu)同位置取若干個(ge)(ge)線距周期(qi)測(ce)量(liang)4個(ge)(ge)長度數據，其(qi)測(ce)量(liang)結(jie)果標(biao)(biao)準(zhun)(zhun)偏差分別(bie)為：<0.39%、<0.19%、<0.21%和(he)<0.19%，S1000微(wei)米(mi)(mi)一亞微(wei)米(mi)(mi)級系列標(biao)(biao)樣，總體為5mm×5mm×0.5mm(長×寬×厚)大小的(de)(de)小方塊。

五、操作使用(yong)

使用(yong)前應(ying)認真檢查(cha)標(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品表面有無污(wu)染物和損(sun)壞，因為這會影響校準(zhun)(zhun)。請勿使用(yong)已破(po)損(sun)或有污(wu)染物的(de)標(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品！可用(yong)清潔干(gan)燥的(de)空氣或氮氣清除標(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品上的(de)灰塵、碎片或其(qi)(qi)他污(wu)染物，注意不要損(sun)壞標(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品。有條件的(de)實驗室應(ying)不定(ding)期地通(tong)過與其(qi)(qi)他標(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品的(de)對(dui)比來(lai)檢查(cha)標(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品的(de)特(te)性和用(yong)法(fa)來(lai)確(que)定(ding)其(qi)(qi)檢查(cha)頻率。

下(xia)面8張(zhang)照片顯示了在不同放大(da)倍率下(xia)的(de)(de)漂(piao)亮圖形和(he)(he)長度的(de)(de)絕佳精(jing)度（放大(da)觀察(cha)，蔡司電(dian)鏡(jing)）。這再次說明，標樣(yang)的(de)(de)無(wu)比優良(liang)和(he)(he)掃描電(dian)鏡(jing)（電(dian)子探針）測長的(de)(de)有效性(xing)和(he)(he)精(jing)確(que)的(de)(de)程度。