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相對測量的平行度。

平(ping)(ping)行平(ping)(ping)晶,以(yi)光波干(gan)涉原理為基礎(chu)，利用(yong)平(ping)(ping)行平(ping)(ping)晶的測(ce)量(liang)(liang)(liang)面(mian)與試件的被(bei)測(ce)量(liang)(liang)(liang)面(mian)之間所出現的干(gan)涉條紋(wen)來測(ce)量(liang)(liang)(liang)被(bei)測(ce)量(liang)(liang)(liang)面(mian)的誤差程度。具有高(gao)精度的平(ping)(ping)面(mian)性(xing)和(he)平(ping)(ping)行性(xing)。