> > 特點：
1、擁有現代的加工工藝，研制技術本身具有足夠的精度等保證其質量3、具(ju)有格柵狀雙向結(jie)構，與早期使用的初級(ji)銅網結(jie)構相似，是可以(yi)同時對任意兩個垂直方向上的掃描電(dian)鏡、電(dian)子探(tan)針的圖像的放大倍率進行檢查或校(xiao)正的標樣(yang)
4、有德國PTB國際計量型原子力顯微鏡的測量研究報告和研制者的研制報告正式發布(見“掃描電鏡測長問題的討論”一書)，即采用目前精度高、可溯源的檢測方法，有可靠的文獻依據(5)利用標樣上的“點(dian)子(zi)”圖像，可對(dui)電(dian)子(zi)束作漂移檢(jian)驗(yan)和(he)樣品(pin)臺(tai)復位檢(jian)驗(yan)
用途：
(1)可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進行檢查或校正，是校準從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標準樣品
(2)可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進行校驗，是評價掃描電鏡圖像質量的個重要工具
(3)可直接用于同一量級物體長度的精確比對測量
(4)對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉調整功能的檢驗也有較好的作用
(5)利用(yong)標樣上的“點子”圖像，可(ke)對電子束(shu)作漂移檢(jian)驗和樣品臺復位(wei)檢(jian)驗
標準樣品的形狀、規格和包裝：
S1000微米-亞微米級系列標樣，總體為5mm×5mm×0.5mm(長×寬×厚)大小的小方塊。主體圖形為一個“回”字形的方框，最外框邊長約為2mm,內框的邊長約為1.2mm,內框里面用X、Y軸分為4個象限，X、Y軸上制作有垂直坐標軸方向的線距20μm的短平行線條，4個象限上分別是線距為40μm、20μm、10μm的方格網狀圖形和線距為5μm的X、Y雙向平行線條圖形，內框的中部又是“回”字形的方框，大框的邊長約為160m,小框邊長約50μm，大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5μm的平行線條，小框里面是線距為1μm或0.5μm的X、Y雙向平行線條圖形(見圖1)，在5μm和1μm或0.5μm的線距結構上還有一些十字形和圓點，可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調整，不同的線距大小可用于從10×~10000放大倍率范圍的校準，而把40μm、20μm和10μm的線距結構設計成方格形，是為了在對放大倍率進行準確校準的同時，可以對圖像的畸變、像散等進行校驗，5μm的線距結構也同時具有X、Y兩個方向的平行線條，是為了方便同時對X、Y兩個方向進行放大倍的準而不必機械旋轉標準器。
標準樣品的穩定性：
標準樣(yang)品(pin)(pin)基質材料(liao)為單晶硅或石(shi)英玻璃(li)基片(pian)，材料(liao)性(xing)質穩定。在(zai)對(dui)標準樣(yang)品(pin)(pin)進(jin)行觀察時(shi)，可看到標準樣(yang)品(pin)(pin)具(ju)有(you)良好的(de)導電(dian)(dian)性(xing)，并且(qie)在(zai)掃描(miao)電(dian)(dian)鏡(jing)(jing)下所產生(sheng)(sheng)的(de)圖形具(ju)有(you)很好的(de)對(dui)比度，在(zai)掃描(miao)電(dian)(dian)鏡(jing)(jing)下或光學(xue)顯微鏡(jing)(jing)下進(jin)行多次(ci)長時(shi)間的(de)觀察后，未見標準樣(yang)品(pin)(pin)圖形或線距結構發生(sheng)(sheng)變(bian)形或其他損壞，即(ji)標準樣(yang)品(pin)(pin)在(zai)電(dian)(dian)子束重復照(zhao)射下是穩定的(de)。
標準樣品的均勻性：
本系列標準樣品的片內線距均勻性由德國聯邦物理研究所(PTB)使用一臺大范圍計量型掃描力顯微鏡( M-LRSFM進行測量，40μm、20μm、10μm和5μm的線(xian)距結構(gou)(gou)的相對(dui)標準偏(pian)差分(fen)別為<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和<1%；片間(jian)線(xian)距的均勻性送國家有色金屬及電(dian)子(zi)材料(liao)分(fen)析(xi)測(ce)試中(zhong)心掃描電(dian)鏡實驗室進行檢查，隨機取(qu)10個(ge)標準樣品，在相同(tong)掃描電(dian)鏡工作條(tiao)件(jian)下獲取(qu)每個(ge)標準樣品上每種線(xian)距結構(gou)(gou)的圖像，在每個(ge)圖像上的不同(tong)位置取(qu)若干個(ge)線(xian)距周期(qi)測(ce)量4個(ge)長度(du)數據，其測(ce)量結果(guo)標準偏(pian)差分(fen)別為：<0.39%、<0.19%、<0.21%和<0.19%
標準值和置信限：
本系列標準樣品的(de)線距(ju)值(zhi)由德(de)國聯邦物理研究(jiu)所(PTB)使用一臺(tai)大范圍計量(liang)(liang)型掃描力顯微鏡(M- LRSFM)進行測量(liang)(liang)，測量(liang)(liang)結果可直接溯源至(zhi)米(mi)定義(yi)計量(liang)(liang)基準。各線距(ju)結構(gou)的(de)測量(liang)(liang)值(zhi)分別為：40000.6±4.2nm(X方(fang)(fang)向(xiang)(xiang))、40001.8±4.2nm(Y方(fang)(fang)向(xiang)(xiang))、20000.4±1.8nm(X方(fang)(fang)向(xiang)(xiang))、20000.0±1.8nm(Y方(fang)(fang)向(xiang)(xiang))、10000.2±0.5mm(X方(fang)(fang)向(xiang)(xiang))、10000.0±0.5mm(Y方(fang)(fang)向(xiang)(xiang))、5000.0±0.6mm(X方(fang)(fang)向(xiang)(xiang))、5000.3±0.6mm(Y方(fang)(fang)向(xiang)(xiang))、1000.4±0.7nm(X方(fang)(fang)向(xiang)(xiang))、1000.4±0.7mm(Y方(fang)(fang)向(xiang)(xiang))，置信限為95%，k=2。
測試使用計量基準裝置主要儀器：計量型掃描電子顯微鏡標準裝置
測量范圍：線間(jian)隔結(jie)構(gou)（0~50）μm
不確定度/準確度等級：Ｕ=（1+2×10-3*p）nm，k=2（Ｐ-nm）
測試(shi)結果(guo)：
1、樣(yang)板外(wai)觀(guan)：良好(hao)
2、測(ce)量范(fan)圍：對樣塊中指定量值的柵格間距區域，進行多次重復測(ce)量
3、樣(yang)塊刪格(ge)間距校準結果及測量不確定(ding)度：
|
測量區(qu)域 |
A |
B |
C |
D |
E1 |
E2 |
|
標稱值/μm |
40 |
20 |
10 |
5 |
2 |
1 |
|
X方向校準值/nm |
39993 |
20052 |
10011 |
5033 |
1998 |
994 |
|
Y方向校準值(zhi)/nm |
40074 |
20049 |
10000 |
5042 |
2003 |
1001 |
|
Ｕ95/nm |
50 |
31 |
11 |
8 |
4 |
2 |
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