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技術前沿

清華大學科研成果MEMS振動傳感器樣品通過檢測

時間：2018-09-13 作(zuo)者： 閱(yue)讀：4554
MEMS傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器是利用集(ji)成(cheng)電(dian)(dian)路技術(shu)工藝和微機械加工方法將基于各種物理效應的機電(dian)(dian)敏感(gan)(gan)(gan)元(yuan)器件和處理電(dian)(dian)路集(ji)成(cheng)在一個芯片上的傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器。具有(you)體(ti)積(ji)小、質(zhi)量輕、功耗低(di)、靈敏度高、可靠性(xing)高、易于集(ji)成(cheng)以(yi)及(ji)耐惡劣工作環境等優勢，從而促(cu)進了傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器向(xiang)微型化(hua)(hua)、智能(neng)化(hua)(hua)、多功能(neng)化(hua)(hua)和網絡化(hua)(hua)的方向(xiang)發(fa)展。
MEMS振動(dong)傳感器(qi)(qi)可用于機械(xie)中(zhong)的(de)振動(dong)和(he)(he)位移(yi)、轉子(zi)與(yu)機殼的(de)熱膨脹量的(de)長期(qi)監測；生產線的(de)在線自動(dong)檢測和(he)(he)自動(dong)控制；科學(xue)研(yan)究中(zhong)的(de)多種微小(xiao)距離和(he)(he)微小(xiao)運動(dong)的(de)測量等。MEMS振動(dong)傳感器(qi)(qi)已廣泛應用于能源、化工(gong)(gong)、醫學(xue)、汽(qi)車、冶金，機器(qi)(qi)制造，軍(jun)工(gong)(gong)，科研(yan)教學(xue)等諸多領域。
 
MEMS振動傳感器(qi)作為獲取信息的關鍵器(qi)件(jian)，對(dui)各(ge)(ge)種傳感裝(zhuang)置的微型化起著(zhu)巨大(da)的推動作用。隨著(zhu)MEMS技術的快速(su)發(fa)展使得MEMS傳感器(qi)受到各(ge)(ge)發(fa)達國家的廣泛關注，紛(fen)紛(fen)將(jiang)MEMS傳感器(qi)技術作為戰略性的研(yan)究領域之一，并制(zhi)定相關的計劃并投入(ru)巨資進行專項研(yan)究。
 
近期，國家(jia)光電(dian)子中心圓滿完成了(le)清(qing)華大學科研成果——MEMS振動傳感器樣品的檢測任務。
 
MEMS振動(dong)傳感器(qi)既是國家高技術研究發展計劃(hua)(863計劃(hua))制造(zao)裝備檢測(ce)(ce)用(yong)多(duo)功能微納傳感器(qi)專(zhuan)項的科研成果，也是針對武漢鍋爐股份有限公司(si)關于在超高溫(wen)條件下監測(ce)(ce)鍋爐內(nei)振動(dong)環(huan)境要求(qiu)的研制成果。
 
科(ke)研成果(guo)驗收是科(ke)研創(chuang)新(xin)的(de)(de)關鍵所在，檢驗檢測(ce)則(ze)是科(ke)研成果(guo)驗收的(de)(de)主(zhu)要手段(duan)。MEMS振動傳(chuan)感器(qi)屬于科(ke)研成果(guo)，在國(guo)內還(huan)沒有(you)相關的(de)(de)測(ce)試標(biao)準。按(an)照該(gai)項目(mu)驗收要求(qiu)，國(guo)家(jia)(jia)光電子中心與項目(mu)科(ke)研人員(yuan)充分溝通交流，結(jie)合國(guo)家(jia)(jia)相似類別設備標(biao)準提出檢測(ce)方案(an)，并通過檢測(ce)結(jie)果(guo)表明該(gai)傳(chuan)感器(qi)已達到設計目(mu)標(biao)，凸顯了檢驗檢測(ce)對科(ke)技(ji)創(chuang)新(xin)的(de)(de)基礎支撐(cheng)作用。
 
MEMS傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)作為國際競(jing)爭(zheng)戰略的(de)重要標志性產(chan)業(ye)，以其技術(shu)含量高、市場(chang)前(qian)景廣闊等特點(dian)備(bei)受世界各國的(de)關(guan)注。近(jin)十(shi)年來，中國MEMS傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)產(chan)業(ye)生態系統也正逐步完善，從研發、設計(ji)、代工、封測(ce)到應用，完整產(chan)業(ye)鏈(lian)已基(ji)本形成，國家對(dui)MEMS傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)行業(ye)也給予(yu)了前(qian)所未有的(de)政策(ce)支持。
 
我國MEMS產(chan)業發(fa)(fa)展面臨了重大的(de)機遇，特別(bie)是移動互(hu)聯(lian)網和物(wu)聯(lian)網的(de)快速(su)發(fa)(fa)展，將(jiang)對MEMS產(chan)業產(chan)生深(shen)遠的(de)影響，并將(jiang)催生大量新(xin)的(de)產(chan)品(pin)、新(xin)的(de)應(ying)用(yong)，帶(dai)動MEMS產(chan)品(pin)在日常生活及工業生產(chan)中的(de)普及化。

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