概述簡介(jie)：

        普天同創（深圳）科技有限(xian)公司 為掃描電鏡客戶定(ding)制放(fang)大倍率標(biao)準樣品。標(biao)樣基質材料為單晶(jing)硅或(huo)石英玻璃基片，材料性(xing)質穩定(ding)。由德國聯邦(bang)物理研究(jiu)所（PTB）對線距均(jun)勻性進行測(ce)量認證。測(ce)量結果可直接(jie)溯源至米(mi)定義計量基準。

規格尺寸：

        5mm×5mm×0.5mm（長(chang)×寬(kuan)×厚）

產品描述：

     ○. 主體圖形為(wei)一“回”字形方框，分為(wei)4個(ge)象限，X、Y軸(zhou)上為垂直坐標軸(zhou)方向(xiang)的線(xian)距20μm的短平行線(xian)條，

     ○. 4個象限上分別是線(xian)距(ju)為40μm、20μm、10μm的方格網狀(zhuang)圖(tu)形(xing)和線(xian)距(ju)為5μm的X、Y雙(shuang)向(xiang)平行線(xian)條(tiao)圖(tu)形(xing)。

     ○. 內框中部(bu)又(you)是“回”字形方(fang)(fang)框，大(da)(da)(da)框和(he)小(xiao)框之(zhi)間在X方(fang)(fang)向和(he)Y方(fang)(fang)向上(shang)都(dou)有線(xian)(xian)距為5μm的(de)(de)平行線(xian)(xian)條，小(xiao)框里(li)面是線(xian)(xian)距為1μm或0.5μm的(de)(de)X、Y雙(shuang)向平行線(xian)(xian)條圖(tu)形（如圖(tu)）。在5μm和(he)1μm或0.5μm的(de)(de)線(xian)(xian)距結構(gou)上(shang)還(huan)有一些十字形和(he)圓點(dian)，可用于在較大(da)(da)(da)放大(da)(da)(da)倍率下圖(tu)像的(de)(de)聚集(ji)和(he)像散調(diao)整。不(bu)同的(de)(de)線(xian)(xian)距大(da)(da)(da)小(xiao)可用于從10×～100,000×放大(da)(da)(da)倍率范圍的(de)(de)校準，而把40μm、20μm和(he)10μm的線距結構設計成方(fang)格形，是為(wei)了(le)在對放大倍率進行準(zhun)確校(xiao)準(zhun)的同時，可以對圖像的畸變、像散等進行校(xiao)驗， 5μm和1μm/0.5μm的(de)線距結構也(ye)同時(shi)(shi)具有X、Y兩(liang)個方向的(de)平行(xing)線條，是(shi)為(wei)了方便(bian)同時(shi)(shi)對X、Y兩(liang)個方向進行(xing)放大(da)倍率的(de)校準而不必機械旋轉標準器。

主要用(yong)途：

     ○. 利用標樣上的“點子”圖像，可對電子束作漂移檢驗和樣品臺復位檢驗

使用方(fang)法：

     ○. 可以直接參照標樣說明書的那八張相近圖像進行測量

注意事項：