近日，根據國(guo)家市場監督管理總局計量(liang)(liang)函【2019】42號《市場監管總局計量(liang)(liang)司(si)關于國(guo)家計量(liang)(liang)技(ji)(ji)術(shu)規(gui)范制(zhi)定、修(xiu)訂及宣貫計劃(hua)有關事項通知(zhi)》，受全國(guo)幾(ji)何量(liang)(liang)長度計量(liang)(liang)技(ji)(ji)術(shu)委(wei)員(yuan)(yuan)會的委(wei)托(tuo)，由中國(guo)計量(liang)(liang)科學(xue)研究院和上(shang)海市計量(liang)(liang)測試技(ji)(ji)術(shu)研究院負責制(zhi)定的《透射電子顯微(wei)鏡校準規(gui)范》出稿已完成。為(wei)了使該項計量(liang)(liang)技(ji)(ji)術(shu)規(gui)范更加完善(shan)和更具可操(cao)作性，全國(guo)幾(ji)何量(liang)(liang)長度計量(liang)(liang)技(ji)(ji)術(shu)委(wei)員(yuan)(yuan)會將(jiang)規(gui)范予以(yi)公(gong)示(shi)，并面向(xiang)全社會公(gong)開征求(qiu)意見。
《透(tou)射電子(zi)顯微(wei)(wei)鏡校(xiao)(xiao)準(zhun)規(gui)范(fan)》具(ju)體內容包括范(fan)圍、應(ying)用(yong)(yong)文件、術(shu)語(yu)和定義、概述、計量特性、校(xiao)(xiao)準(zhun)條件、校(xiao)(xiao)準(zhun)項(xiang)目和校(xiao)(xiao)準(zhun)方法、校(xiao)(xiao)準(zhun)結(jie)果的表(biao)達、復校(xiao)(xiao)時間間隔等，適用(yong)(yong)于透(tou)射電子(zi)顯微(wei)(wei)鏡的校(xiao)(xiao)準(zhun)。
透射電(dian)鏡的計量(liang)特性參見表1：
儀(yi)器在校(xiao)準(zhun)(zhun)過程(cheng)中需(xu)要考慮的(de)(de)環境條件包括溫度：(20±5)℃，濕度：≤70%RH，其中，實(shi)驗(yan)室震動和電(dian)磁輻射(she)應不影(ying)響測量結果。而儀(yi)器的(de)(de)校(xiao)準(zhun)(zhun)項(xiang)目所采用(yong)的(de)(de)標(biao)準(zhun)(zhun)樣品是周期柵(zha)格(ge)、硅(gui)晶格(ge)等，可(ke)根據計量特性、儀(yi)器測量范圍和實(shi)際(ji)使用(yong)情況選用(yong)相適應的(de)(de)標(biao)準(zhun)(zhun)樣品。
校準(zhun)用標準(zhun)樣品參見表2：
透射電鏡(jing)的校(xiao)準(zhun)項目和(he)校(xiao)準(zhun)方法包括(kuo)測長(chang)(chang)示(shi)值誤(wu)差、測長(chang)(chang)重復(fu)性、正交性誤(wu)差、漂移速率等(deng)(deng)內(nei)容。另外，關于(yu)儀器(qi)的復(fu)校(xiao)時(shi)(shi)間(jian)(jian)間(jian)(jian)隔，規范明(ming)確，由(you)于(yu)復(fu)校(xiao)時(shi)(shi)間(jian)(jian)間(jian)(jian)隔的長(chang)(chang)短是由(you)透射電鏡(jing)的使(shi)用(yong)(yong)狀況(kuang)、使(shi)用(yong)(yong)者、設備(bei)本(ben)身質量等(deng)(deng)諸因素所決定的，因此，送校(xiao)單(dan)位可根(gen)據(ju)儀器(qi)實(shi)際使(shi)用(yong)(yong)情況(kuang)自主決定復(fu)校(xiao)時(shi)(shi)間(jian)(jian)間(jian)(jian)隔。建議復(fu)校(xiao)時(shi)(shi)間(jian)(jian)間(jian)(jian)隔一(yi)般為1年。
以上規范的編寫(xie)主要參考了JJG(教(jiao)委(wei))011-1996《透(tou)射電子(zi)顯(xian)(xian)微(wei)(wei)鏡檢(jian)定(ding)規程(cheng)》與(yu)GB/T 34002-2017《微(wei)(wei)束分析(xi) 透(tou)射電子(zi)顯(xian)(xian)微(wei)(wei)術 用周(zhou)期結構標準物(wu)質(zhi)校(xiao)準圖像放(fang)大倍率的方法》的相關內容(rong)。規范制定(ding)的目的是解決透(tou)射電子(zi)顯(xian)(xian)微(wei)(wei)鏡在長(chang)度測量應用中(zhong)的校(xiao)準問題(ti)。
[來源(yuan)：化工儀(yi)器網]
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