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技術前沿

掃描電鏡的優點及應用范圍

時(shi)間：2020-04-15 作者：普天同創 閱讀：14699
        掃(sao)描電鏡(jing)（SEM）是介于透(tou)射電鏡(jing)和光(guang)學顯(xian)微(wei)鏡(jing)之間的一種(zhong)微(wei)觀(guan)形貌(mao)觀(guan)察手段，可(ke)直接利用(yong)樣品表面(mian)材料的物質性能進行微(wei)觀(guan)成像(xiang)。

        掃描電鏡的優點：
        ①. 有(you)較高的放(fang)大倍數(shu)，20-200000倍之(zhi)間連(lian)續(xu)可(ke)調；
        ②. 有很大的景深，視野大，成像富有立(li)體感，可直接觀(guan)察(cha)各種試(shi)樣凹凸(tu)不平表面的細(xi)微(wei)結構；
        ③. 試(shi)樣制(zhi)備(bei)簡單，目前的掃描電鏡都配有(you)X射(she)線能譜(pu)儀(yi)裝置(zhi)，這樣可以同時進行顯(xian)微(wei)組織形貌的觀察和(he)微(wei)區成分分析（即SEM-EDS），因此它是(shi)當(dang)今(jin)十分重要的科學研究(jiu)儀(yi)器之一。


        掃描電鏡的組成及原理：

        掃描電(dian)子顯微鏡由(you)電(dian)子光學系統(tong)(tong)，信(xin)號收集及顯示系統(tong)(tong)，真空(kong)系統(tong)(tong)及電(dian)源系統(tong)(tong)組成。從(cong)原理上講就是利用聚焦(jiao)得非常細的高能電(dian)子束在(zai)試(shi)樣上掃描，激發出(chu)各(ge)種物理信(xin)息。通過對這(zhe)些信(xin)息的接受、放大(da)和顯示成像，獲得測試(shi)試(shi)樣表面(mian)形貌(mao)的觀察。
        當一束極細(xi)的高能入射(she)電(dian)(dian)子(zi)(zi)轟擊掃(sao)描(miao)樣品(pin)表面時(shi)，被(bei)激發的區域將產生(sheng)二次電(dian)(dian)子(zi)(zi)、俄歇(xie)電(dian)(dian)子(zi)(zi)、特征x射(she)線(xian)和連續譜X射(she)線(xian)、背散射(she)電(dian)(dian)子(zi)(zi)、透射(she)電(dian)(dian)子(zi)(zi)，以及(ji)在可見、紫外、紅外光區域產生(sheng)的電(dian)(dian)磁輻(fu)射(she)。同(tong)時(shi)可產生(sheng)電(dian)(dian)子(zi)(zi)-空穴對、晶格(ge)振動(dong)（聲子(zi)(zi))、電(dian)(dian)子(zi)(zi)振蕩（等離子(zi)(zi)體）。

        掃描電鏡的應用范圍：
        1. 生(sheng)物：種(zhong)子(zi)、花粉、細菌……
        2. 醫學：血球(qiu)、病毒……
        3. 動物：大腸(chang)、絨毛、細胞、纖維……
        4. 材料：陶瓷、高分子(zi)、粉末、金屬、金屬夾雜物、環氧樹脂……
        5. 化學(xue)、物(wu)理(li)、地質(zhi)、冶金、礦物(wu)、污(wu)泥（桿菌） 、機(ji)械、電機(ji)及導電性樣品(pin)，如半導體(IC、線(xian)寬量測、斷面(mian)、結(jie)構(gou)觀(guan)察……）電子材料(liao)等。
        6. 新型(xing)陶瓷(ci)材料分析
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