回答是(shi)肯定的(de)(de)。掃描電鏡本身(shen)的(de)(de)唯一功能(neng)不僅僅是(shi)用作微(wei)區放大,而(er)(er)且(qie)可以(yi)進行微(wei)米、 納(na)(na)米微(wei)小(xiao)尺(chi)度計(ji)(ji)量(liang)測(ce)(ce)(ce)量(liang)。目前在(zai)國內能(neng)測(ce)(ce)(ce)量(liang)納(na)(na)米長度的(de)(de)儀器(qi)雖然有多種(zhong),然而(er)(er)具備(bei)真正意(yi)義的(de)(de)納(na)(na)米計(ji)(ji)量(liang)測(ce)(ce)(ce)量(liang)條件(jian)的(de)(de)儀器(qi)不多。在(zai)測(ce)(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)同時又能(neng)直接顯(xian)示納(na)(na)米物體形態,而(er)(er)且(qie)有合(he)理、合(he)法的(de)(de)標準器(qi)、有計(ji)(ji)量(liang)檢定規程,可以(yi)實現計(ji)(ji)量(liang)溯源的(de)(de)儀器(qi)非(fei)掃描電子顯(xian)微(wei)鏡莫屬。
換一句話說,掃描電鏡(jing)不僅能測(ce)長,而且理應成為許(xu)多實際測(ce)長應用領域中(zhong)最佳的測(ce) 量工具。
掃描電鏡測長(chang)的三個基本條件是什么?
掃描電鏡能否作為(wei)測長計量儀(yi)器所必(bi)需的三個(ge)條(tiao)件是:
(1)必(bi)須有掃描電鏡(jing)的計量檢定規程
計(ji)量(liang)檢定(ding)規程應對與掃描(miao)(miao)電鏡測(ce)(ce)長(chang)有關的儀器參數(shu),如掃描(miao)(miao)電鏡分(fen)辨力的、圖(tu)像放大(da)倍率等進行校驗或校準并對重復(fu)性的確定(ding),以(yi)及(ji)圖(tu)像畸(ji)變或線性失真度的校驗等做出明確的規定(ding),只有通過計(ji)量(liang)檢定(ding)的掃描(miao)(miao)電鏡才可以(yi)用于精(jing)確測(ce)(ce)長(chang)。
(2)必須(xu)有掃描電鏡的(de)長度測量的(de)標準(zhun)方法
標(biao)準方法規(gui)定掃描電鏡在測長時應遵循的(de)步驟及應注(zhu)意的(de)一(yi)些問題,只有嚴格按照標(biao)準方法的(de)規(gui)定執(zhi)行,才可能將測量的(de)長度值追溯到長度基準。
(3)必須有掃(sao)描電鏡測長(chang)用的長(chang)度(du)標準器
在(zai)掃描(miao)電鏡計量(liang)檢定時(shi)所進(jin)行的(de)圖(tu)像放(fang)大倍率校準(zhun)(zhun)(zhun)和在(zai)測長(chang)(chang)標準(zhun)(zhun)(zhun)方法規定的(de)實際測量(liang)過程中(zhong)都(dou)必須使(shi)用(yong)長(chang)(chang)度(du)(du)標準(zhun)(zhun)(zhun)器。如2004年通過審查的(de)三(san)個柵(zha)(zha)網標準(zhun)(zhun)(zhun)樣(yang)品(柵(zha)(zha)網的(de)大小分別(bie)為 12.50μm(G125)、25.00μm(G250)、62.50μm、82.50μm、125.00μm、165.00μm(G4))和正(zheng)在(zai)研(yan)制的(de)其他微米和納(na)米量(liang)級(ji)的(de)長(chang)(chang)度(du)(du)標準(zhun)(zhun)(zhun)器就(jiu)是這樣(yang)的(de)長(chang)(chang)度(du)(du)標準(zhun)(zhun)(zhun)器。它是這三(san)個基本條件的(de)核心。