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清華大學科研成果MEMS振動傳感器樣品通過檢測

時間:2018-09-13 作(zuo)者: 閱讀:3935
MEMS傳(chuan)(chuan)感器是利用集(ji)成(cheng)電路技術工藝和(he)微(wei)(wei)機械加(jia)工方法將基于各(ge)種物理效應的機電敏感元(yuan)器件和(he)處理電路集(ji)成(cheng)在一個芯片上的傳(chuan)(chuan)感器。具(ju)有體(ti)積小、質量輕、功耗(hao)低、靈(ling)敏度高(gao)、可靠(kao)性高(gao)、易于集(ji)成(cheng)以及耐惡劣工作環境等優勢,從而促進了傳(chuan)(chuan)感器向(xiang)微(wei)(wei)型化(hua)、智能化(hua)、多功能化(hua)和(he)網絡化(hua)的方向(xiang)發(fa)展。
MEMS振(zhen)動(dong)(dong)傳(chuan)感(gan)器可用于機械中的(de)振(zhen)動(dong)(dong)和位移、轉子與機殼的(de)熱膨脹量的(de)長期(qi)監測(ce);生產(chan)線(xian)的(de)在(zai)線(xian)自動(dong)(dong)檢(jian)測(ce)和自動(dong)(dong)控制(zhi);科(ke)學研究中的(de)多種微小(xiao)距離和微小(xiao)運(yun)動(dong)(dong)的(de)測(ce)量等。MEMS振(zhen)動(dong)(dong)傳(chuan)感(gan)器已廣泛應用于能源、化工、醫學、汽車、冶金,機器制(zhi)造,軍工,科(ke)研教學等諸多領域。
 
MEMS振動傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器作(zuo)為獲(huo)取信(xin)息的(de)關(guan)鍵(jian)器件,對各(ge)種(zhong)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)裝置(zhi)的(de)微型化起(qi)著巨(ju)大的(de)推(tui)動作(zuo)用。隨(sui)著MEMS技術(shu)的(de)快速發展使得MEMS傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器受到各(ge)發達國家的(de)廣泛(fan)關(guan)注,紛(fen)紛(fen)將(jiang)MEMS傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器技術(shu)作(zuo)為戰略性的(de)研(yan)究領(ling)域之一,并制定相(xiang)關(guan)的(de)計劃并投(tou)入(ru)巨(ju)資(zi)進行專項研(yan)究。
 
近期,國家光電子中(zhong)心圓滿完成(cheng)了清華大學科研成(cheng)果(guo)——MEMS振動傳感器樣品(pin)的檢測(ce)任務。
 
MEMS振動(dong)傳(chuan)感器(qi)(qi)既是(shi)國家高技術(shu)研究(jiu)發展計劃(hua)(863計劃(hua))制(zhi)造裝備檢測(ce)用多功能(neng)微納傳(chuan)感器(qi)(qi)專(zhuan)項的科(ke)研成(cheng)(cheng)果,也是(shi)針對(dui)武漢鍋爐(lu)股份有限公司(si)關于在(zai)超高溫(wen)條件下(xia)監測(ce)鍋爐(lu)內振動(dong)環境要(yao)求的研制(zhi)成(cheng)(cheng)果。
 
科(ke)研(yan)成果(guo)(guo)驗收是科(ke)研(yan)創新的(de)關(guan)鍵所(suo)在,檢(jian)驗檢(jian)測則是科(ke)研(yan)成果(guo)(guo)驗收的(de)主要(yao)(yao)手段。MEMS振動傳感器屬于科(ke)研(yan)成果(guo)(guo),在國內(nei)還沒有相關(guan)的(de)測試標(biao)準(zhun)。按照該項目驗收要(yao)(yao)求,國家光(guang)電子(zi)中心與項目科(ke)研(yan)人(ren)員充分(fen)溝通(tong)交流,結(jie)(jie)合國家相似(si)類別設備標(biao)準(zhun)提出檢(jian)測方案(an),并(bing)通(tong)過檢(jian)測結(jie)(jie)果(guo)(guo)表(biao)明該傳感器已(yi)達到設計目標(biao),凸(tu)顯(xian)了檢(jian)驗檢(jian)測對科(ke)技創新的(de)基(ji)礎支撐(cheng)作用。
 
MEMS傳感(gan)器作為國(guo)(guo)(guo)際競爭戰略的重要標志(zhi)性(xing)產業,以其(qi)技術含量高(gao)、市場(chang)前景(jing)廣(guang)闊等特點(dian)備受世界各國(guo)(guo)(guo)的關注(zhu)。近十年來,中(zhong)國(guo)(guo)(guo)MEMS傳感(gan)器產業生態系統也正逐步完(wan)善,從(cong)研發、設計、代工、封測(ce)到應用,完(wan)整產業鏈已(yi)基本形成,國(guo)(guo)(guo)家(jia)對MEMS傳感(gan)器行業也給予了前所未有(you)的政策支持。
 
我國(guo)MEMS產(chan)(chan)(chan)業(ye)發展面臨(lin)了重大(da)的(de)(de)機遇(yu),特別是移(yi)動互聯網和物(wu)聯網的(de)(de)快(kuai)速(su)發展,將對MEMS產(chan)(chan)(chan)業(ye)產(chan)(chan)(chan)生(sheng)深遠的(de)(de)影響,并將催生(sheng)大(da)量(liang)新的(de)(de)產(chan)(chan)(chan)品、新的(de)(de)應(ying)用(yong),帶動MEMS產(chan)(chan)(chan)品在日(ri)常生(sheng)活及工業(ye)生(sheng)產(chan)(chan)(chan)中的(de)(de)普(pu)及化(hua)。