一(yi)、產品(pin)介紹

用(yong)于掃(sao)描(miao)電(dian)鏡（包括電(dian)子探針等(deng)）儀器主(zhu)要性(xing)能的(de)校(xiao)驗和檢(jian)驗，如圖像的(de)放大(da)倍率(lv)檢(jian)驗與調整(zheng)、掃(sao)描(miao)圖像畸變的(de)調整(zheng)、像散調節(jie)以(yi)及樣(yang)(yang)品(pin)臺(tai)的(de)復位檢(jian)驗等(deng)。該標(biao)準(zhun)樣(yang)(yang)品(pin)也是(shi)(shi)掃(sao)描(miao)電(dian)鏡微(wei)(wei)米納米長度精確(que)測(ce)量(liang)的(de)最佳標(biao)準(zhun)樣(yang)(yang)品(pin)、是(shi)(shi)微(wei)(wei)米長度測(ce)量(liang)的(de)最高可溯(su)源級別的(de)量(liang)值(zhi)傳遞工(gong)具(ju)。是(shi)(shi)多個(ge)國家標(biao)準(zhun)文件GB/W 27788、16594、17722、20307、JJG550等(deng)實施所(suo)必需(xu)的(de)標(biao)準(zhun)樣(yang)(yang)品(pin)。

二、標準(zhun)樣品(pin)用途

1、可(ke)用于同時對任意(yi)兩個垂(chui)直(zhi)方向上的(de)掃描(miao)電(dian)鏡的(de)圖像的(de)放(fang)大(da)倍率(lv)(lv)進行檢查或校正(zheng)，是校準從(cong)10×~100,000×范圍的(de)圖像放(fang)大(da)倍率(lv)(lv)的(de)最有效的(de)圖形標準樣品。

2、可(ke)用(yong)于對圖像(xiang)(xiang)的(de)X、Y方(fang)向上的(de)畸(ji)(ji)變和邊緣的(de)畸(ji)(ji)變進行(xing)校(xiao)驗，是(shi)評(ping)價(jia)掃描電鏡(jing)圖像(xiang)(xiang)質量的(de)個(ge)重(zhong)要工具(ju)。

3、可直接用于(yu)同一量級(ji)物體(ti)長度的精(jing)確(que)比(bi)對測量。

4、對(dui)樣品臺傾(qing)斜(xie)角和電子傾(qing)斜(xie)以及旋轉調(diao)整功能的檢(jian)驗也有較好(hao)的作(zuo)用。

5、利(li)用標樣上的“點子”圖(tu)像，可對(dui)電子束作漂移(yi)檢驗(yan)和樣品臺復(fu)位檢驗(yan)。

標(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品(pin)(pin)基(ji)質(zhi)材(cai)料為單(dan)晶(jing)硅或(huo)石英玻璃基(ji)片，材(cai)料性質(zhi)穩(wen)定。在(zai)對標(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品(pin)(pin)進行觀察時，可看到(dao)標(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品(pin)(pin)具(ju)有良好的(de)導(dao)電性，并且(qie)在(zai)掃描電鏡下所產生的(de)圖形具(ju)有很好的(de)對比度，在(zai)掃描電鏡下或(huo)光(guang)學(xue)顯微鏡下進行多次長時間的(de)觀察后，未見標(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品(pin)(pin)圖形或(huo)線距結構發生變形或(huo)其他損壞，即標(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品(pin)(pin)在(zai)電子束(shu)重復照射下是穩(wen)定的(de)。

四、標準(zhun)樣品均勻性(xing)

本(ben)系列(lie)標(biao)準(zhun)樣品的片內線距(ju)均勻性由德國(guo)聯邦物理研究(jiu)所(PTB)使用一臺大(da)范圍(wei)計量(liang)型掃(sao)描力(li)顯微鏡(jing)( M-LRSFM進行測量(liang)，40μm、20μm、10μm和(he)5μm的線距(ju)結構(gou)的相(xiang)對標(biao)準(zhun)偏(pian)差分(fen)別(bie)為(wei)<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和(he)<1%；片間線距(ju)的均勻性送國(guo)家有色金屬(shu)及電(dian)子材料分(fen)析測試(shi)中心掃(sao)描電(dian)鏡(jing)實驗室進行檢(jian)查(cha)，隨機(ji)取10個(ge)標(biao)準(zhun)樣品，在相(xiang)同掃(sao)描電(dian)鏡(jing)工作條件下獲取每(mei)個(ge)標(biao)準(zhun)樣品上每(mei)種線距(ju)結構(gou)的圖像(xiang)，在每(mei)個(ge)圖像(xiang)上的不同位置取若干個(ge)線距(ju)周期測量(liang)4個(ge)長度數據(ju)，其測量(liang)結果標(biao)準(zhun)偏(pian)差分(fen)別(bie)為(wei)：<0.39%、<0.19%、<0.21%和(he)<0.19%，S1000微米一亞微米級系列(lie)標(biao)樣，總體為(wei)5mm×5mm×0.5mm(長×寬×厚(hou))大(da)小的小方塊。

五(wu)、操(cao)作使用

使用前應(ying)認(ren)真檢查標(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品(pin)表(biao)面有無(wu)污(wu)染物和(he)損壞，因(yin)為這會影響校準(zhun)(zhun)。請勿使用已破(po)損或(huo)有污(wu)染物的(de)(de)標(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品(pin)！可用清潔干燥(zao)的(de)(de)空氣或(huo)氮(dan)氣清除標(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品(pin)上的(de)(de)灰(hui)塵、碎片或(huo)其他(ta)污(wu)染物，注意(yi)不要損壞標(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品(pin)。有條件的(de)(de)實(shi)驗室應(ying)不定期地通過與其他(ta)標(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品(pin)的(de)(de)對比來檢查標(biao)(biao)(biao)準(zhun)(zhun)樣(yang)品(pin)的(de)(de)特(te)性(xing)和(he)用法來確定其檢查頻率。

下面8張照片顯示了(le)在不(bu)同(tong)放大倍率下的漂亮(liang)圖形和(he)長度的絕佳精度（放大觀察，蔡司電(dian)鏡）。這再(zai)次(ci)說明，標(biao)樣(yang)的無比優(you)良和(he)掃描電(dian)鏡（電(dian)子探(tan)針）測長的有效性和(he)精確的程度。